高温干燥链式隧道炉工业用隧道设备多种规格_青岛福润德微电子设备有限公司

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高温干燥链式隧道炉工业用隧道设备多种规格

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详细说明

设备用途：用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。

链(带)式烧结炉特点：本设备为气氛保护炉，保护气氛为氢气、氮气、氩气等。

设备具有连续工作性，保证生产效率。

独特的气幕帘结合，确保炉膛与空气隔绝。

多温区控制炉温，方便调整工艺曲线。

链带速度无级连续可调。

根据用户要求可配加湿器

链(带)式烧结炉主要技术指标

带宽：90~350mm

炉膛高度：100~200mm

炉膛宽度：100~370mm

冷却段长：1000~6000mm

温度范围：300~1050℃

等温区长：600~1500mm

控制精度：±2℃

控制段数：4~10段

带速：20~500mm/min

升温时间：90~240min

升温功率：20~120KVA

保护气体：3~5路氮气0~100L/min 1路氢气0~80L/

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