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青岛福润德微电子设备有限公司
联系人:岳晓茜 女士 (销售)
电 话:0532-68017157
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扩散炉炉体,可根据需求定制

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详细说明

    可完全代替进口炉体,--加热炉丝,进口保温材料,采用国外**进加工工艺,炉体可长期使用在高温下,处理12英寸以下硅片,工作温度2000℃-1286℃。

设备特点:

可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步

工艺曲线的自动运行控制功能

工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能

自动运行中可暂停/继续运行功能

可存储多组PID参数供系统运行调用功能

PID参数自整定功能

工艺气体的程序控制功能

关键部件全部具有高可靠性

具有良好的人机界面

系统故障自诊功能

停电后断点继续运行功能等等

具有历史记录功能

具有多点温度补偿

技术指标:

可配置工艺管外径2~8英寸

可配置工艺管数量:1~4管/台

工作温度范围:400~1300℃

恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃

单点温度稳定性:800~1300℃±0.5℃/24h

大可控升温速率:15℃/min

大降温速率:5℃

 
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